半導體清洗設備在線使用的ECN型化學液體加熱器介紹

用于半導體化學清洗設備的在線使用

ECN型化學液體加熱加熱器

高純度制成
● 所有接液部件均采用 PFA
● 無雜質洗脫
● 使用低溫加熱器時化學品不會變質
● 即使使用堿性化學品也不會變質

可靠性
● 最大工作壓力：0.4MPa
● 最高工作溫度：標準產品為80℃，特殊規格可生產至120℃。
● 內置過熱報警傳感器。
● 停電等突然關機時，溫升約10℃
　　。高溫下安全使用
● 內置漏水傳感器
● 耐流量波動和沖擊

維護方便
● 采用低溫加熱器，因此使用壽命為半性，無需更換加熱器
● 非常緊湊，易于安裝安裝
● 電氣控制 有效利用現有設施